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CNT配合 導電性フッ素樹脂

コンタミを発生させずに静電気を除去!カーボンナノチューブを配合した高機能フッ素樹脂!

半導体の洗浄工程でも実績がございます!

概要

 半導体洗浄工程での静電気のお悩みはございませんか?大陽日酸はフッ素樹脂に当社独自のカーボンナノチューブ(CNT)を極少量添加することで、導電性能とクリーン度を両立したフッ素樹脂を開発いたしました!

 1%以下のCNT添加量で導電性能を発揮する為、母材の樹脂物性もほとんど変えることなく、また金属や炭素分での汚染を起こさずに導電性能を付与することができる為、普段お使いの樹脂と同じ感覚でご使用頂けます。

 既に半導体洗浄工程に採用実績がございます。既存の導電性樹脂のクリーン度に不満のある方や、静電気でお困りの方は是非大陽日酸にご相談下さい!

特徴

 

  1.  電気の除電が可能! 

 

  2.  材樹脂の物性変化最小限に! 

  

  3.  金属・カーボンによる汚染の心配が無い

 


「高機能フッ素樹脂」に関するカタログはこちらから!↓

製品紹介

■各種性能評価

 1.体積抵抗率

 0025wt%~0.1wt%の添加で、静電気除去に十分な導電性能を発揮!


 2.物性変化への影響

※PTFE+CB:カーボンブラック配合 導電性樹脂

 母材物性の変化を抑えることで、通常のPTFEと同様の使用感でお使い頂けます!


 3.溶出試験結果

 既に半導体の洗浄工程にて採用実績がございます!是非ご検討下さい!

用途例

・半導体製造装置部品

・ウェハ洗浄用PTFE容器

・ウェハキャリア

・薬液タンク

配管パイプ、継ぎ手

ダイヤフラム

フランジパッキン

・除電シート 等


基本的には樹脂粉末でのご提供ですが、弊社協力先の加工メーカー様より成形体形状でもお出しすることが可能です。

詳細は下記お問い合わせフォームより、お問い合わせ下さい!


 「高機能フッ素樹脂」に関するカタログはこちらから!↓


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