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ガス雰囲気による部材耐久性評価

概要

 「部材の特殊ガス環境下、プラズマ環境下での耐性が見たい」「新しい雰囲気条件を試してみたい」「でも既存の装置を止めて試験するわけにはいかないし...」このようなお悩み、ご要望はございませんか?

 大陽日酸はこのような要望にお答えするガスの曝露試験設備だけでなく、専門の技術員を保有しており、金属、樹脂、Siウエハ上薄膜など、様々な対象での処理実績がございます。試験の前には事前にお打ち合わせの上で最適な試験条件をご提案させて頂きます。現状の試験にご不満や課題がある方も是非大陽日酸にご相談下さい!

特徴

ガス曝露試験により...

 

 ・最適部材の選定が可能! 

 ・部材選定や改善のスピードがアップ!

 ・部材の不具合発生原因究明に寄与!

 ・部材破損による事故リスクを軽減!

 反応ガス雰囲気試験に関するカタログはこちらから!↓

技術紹介

■ガス曝露試験

 【リモートプラズマ処理】

 

  ガス種(実績) : 100%NH3、100%NF3

  温    度 : <900℃

  圧    力 : 1~10Torr  

  時    間 : (最大8時間/1日)

  R      F :  3~4kW

部材評価例
部材評価例

【封入処理】

 

 ガス種(実績) : 25% ClF3/N2

         25% Cl2/N2

         25% 無水 HF/N2

 温    度 : <200℃

 圧    力 : 大気圧

 時    間 : (最大8時間/1日)

 

 ※反応ガスをサンプルの入ったSUS管内に封入後、

  恒温槽内で放置。

 


その他、「成膜・コーティングテスト」や、エッチングテストも実施しております。

詳細は下記お問い合わせフォームより、お問い合わせ下さい!


 反応ガス雰囲気試験に関するカタログはこちらから!↓


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